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實(shí)驗(yàn)室高純氣路管道系統(tǒng)應(yīng)用及管道要求

  • 更新時間:  2022-06-08
  • 產(chǎn)品型號:  氣路安裝
  • 簡單描述
  • 路系統(tǒng)主要用于處理高純度氣體或有毒氣體和腐蝕性氣體的控制設(shè)備,是方便于實(shí)驗(yàn)室供氣及安全的氣路系統(tǒng)。主要用于實(shí)驗(yàn)室、電子微電子、石油化工、太陽能、分析儀器、核電廠、生物制藥、質(zhì)監(jiān)局、學(xué)校科研、原子吸收光譜法、廢氣分析、食品包裝、海洋工業(yè)、醫(yī)療/工業(yè)激光工業(yè)等高科技領(lǐng)域。
詳細(xì)介紹

實(shí)驗(yàn)室高純氣路管道系統(tǒng)應(yīng)用及管道要求

氣路系統(tǒng)主要用于處理高純度氣體或有毒氣體和腐蝕性氣體的控制設(shè)備,是方便于實(shí)驗(yàn)室供氣及安全的氣路系統(tǒng)。主要用于實(shí)驗(yàn)室、電子微電子、石油化工、太陽能、分析儀器、核電廠、生物制藥、質(zhì)監(jiān)局、學(xué)校科研、原子吸收光譜法、廢氣分析、食品包裝、海洋工業(yè)、醫(yī)療/工業(yè)激光工業(yè)等高科技領(lǐng)域。

  1.管道、球閥、卡套和三通均為316L不銹鋼;減壓器為高純氣體減壓器(不銹鋼閥芯),高壓軟管(連接鋼瓶和母線)為不銹鋼波紋管。高壓軟管的入口端設(shè)有單向閥,可防止鋼瓶更換時軟管內(nèi)的氣體泄漏,同時防止外界空氣混入氣路。

  2.管道系統(tǒng):所有氣體管道均采用巴級316L不銹鋼管,管道上有過濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置,使氣體在循環(huán)過程中不會被管道系統(tǒng)污染,保證氣體的純度。同時,應(yīng)有明確的標(biāo)志來指示氣體的流向。

  3.管道連接:母線和端子部分通過卡套連接,便于減壓器和閥門的維護(hù)和管理。

  4.終端:每臺儀表前應(yīng)配備截止閥和二次減壓器(每種氣體一個)。截止閥用于控制每個氣路的開啟和關(guān)閉;當(dāng)儀器需要調(diào)整和維護(hù)時,可以停止任何定儀器的供氣。減壓器用于顯示和調(diào)節(jié)終端的壓力。

  1.不銹鋼管外明內(nèi)凈是選,其次是銅管和塑料管。避免室外部件使用塑料管。

  2.室內(nèi)部件應(yīng)盡可能使用不銹鋼管。聚四氟乙烯管或聚乙烯管可用于特殊需要。

  3.為了消除不必要的隱患,減少管道可能的泄漏點(diǎn),建議使用超長不銹鋼軟管,容易彎曲和改變方向。有時,為了便于施工和設(shè)計,可以在管道中設(shè)置一些雙通和三通接頭。

  1.高純氣體管道系統(tǒng)布置不同于普通氣體管道。通常要求管道不應(yīng)太長,并且不應(yīng)有不容易清洗的死角,如“盲管"。主管或支管的末端應(yīng)提供必要的排放口和取樣口。在一些非連續(xù)使用的用戶中,少量氣體在管道末端連續(xù)排出,從而管道中的氣體將正常流動,并且沒有“死區(qū)"。根據(jù)工藝氣體的質(zhì)量要求,如有必要,還需要布置末端凈化裝置。一般來說,控制閥、過濾器、減壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀器等。進(jìn)入潔凈車間的高純度氣體管道集中在氣體人口室,便于統(tǒng)一管理和控制。

  2.高純氣路管道及附件材料:高純氣體管道輸送管道應(yīng)根據(jù)工藝對氣體純度、允許雜質(zhì)含量、顆粒含量等的不同要求,采用相應(yīng)質(zhì)量的管道。例如,半導(dǎo)體工業(yè)不僅需要清潔的生產(chǎn)環(huán)境,而且由于其復(fù)雜的生產(chǎn)過程和精細(xì)加工,對生產(chǎn)過程中所需的各種高純度氣體也有具體和嚴(yán)格的要求。從微米技術(shù)到亞微米和深亞微米(小于0.35um)技術(shù),對氣體中雜質(zhì)含量和水分含量的要求非常嚴(yán)格,10-6 (ppm級)不能滿足要求。需要達(dá)到10-9 (ppb級)甚至10-12(ppt級),粉塵粒徑需要控制在0.05-0.01 μm。因此,輸送管道的管道材料特性必須滿足高純度和超高純度氣體的要求。

  3.管道材料的特性對于輸送高純氣體的管道,影響氣體質(zhì)量的管道材料的主要特性是透氣性、出氣率、吸附性、表面粗糙度、耐磨性和耐腐蝕性。

  外觀檢查

  1.管道布線應(yīng)水平、平直和垂直;管子固定牢固。

  2.管道外表面無明顯損壞。

  3.每個閥件沒有明顯損壞。系統(tǒng)耐壓試驗(yàn)如果管道在充滿壓力后變形(如起泡、扭曲、膨脹和其他現(xiàn)象),這意味著系統(tǒng)不能在這種壓力下工作。如果系統(tǒng)在此壓力下長時間工作,系統(tǒng)將在變形位置爆裂,造成人身和財產(chǎn)損失。

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