工業供氣安裝設計 氣體管路實驗室分析儀器,氣體管路非標實驗設備,氣體管路連接及接頭的設計加工。從氣瓶房到實驗室氣體管路的氣體管線,實驗室內氣路箱的設計安裝,氣體報警裝置的設計安裝。 使用的自動焊接施工工藝安裝管道、減壓器、壓力表、高壓金屬軟管、鋼瓶接頭、焊接接頭、卡套接頭、不銹鋼潔凈管等。 (1)易燃性氣體 把自燃、易燃、可燃氣體等都定義為這類氣體。如常溫下的SiH4氣體只要與空氣接觸就會燃燒,當環境溫度達到一定時,PH3與B2 H6等氣體也會產生自燃??扇家兹細怏w都有一定的著火燃燒爆炸范圍,即上限、下限值。此范圍越大的氣體起爆炸燃燒危險性就越高,如B 2H6的爆炸上限為98%,爆炸下限為0.9%。屬于易燃氣體有H2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。毒性氣體(Toxic Gas):半導體制造行業中使用的氣體很多都是對人體有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體的毒性大,它們的閾限值TLV(Threshold Limited Valve)分別只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。這些氣體在工作環境中的允許濃度極微,因此在貯存、輸送以及使用的過程中都要求特別的小心。一般都應該采取特定的技術措施來控制使用這些氣體。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都屬于毒性氣體。 (3)腐蝕性氣體(Corrosive Gas):這些腐蝕性氣體通常同時也兼有較強的毒性。腐蝕性氣體在干燥狀態下一般不易侵蝕金屬,但在遇到水的環境下就顯示出很強的腐蝕性,如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3,WF6等。惰性氣體(Inert Gas): 隋性氣體本身一般不會直接對人體產生傷害,在氣體傳輸過程中,相對于安全上的要求不如以上其他氣體嚴格。但惰性氣體具有窒息特性,在密閉空間若發生泄漏會使人窒息而造成工傷事故。屬于這類的氣體有C2F6,CF4,SF6,CHF 3等。 (5)氧化性氣體(Oxide Gas):這類氣體有較強的氧化性,一般同時具有其他特性,如毒性或腐蝕性等。屬于這類的氣體有ClF3,Cl2,NF3等。 (6)大宗氣體。屬于這類氣體有N2,O2,CO2等 工業供氣安裝設計 |