高純氣配管技術是高純氣體供氣系統的重要組成部分,是能否將合符要求的高純氣體送至用氣點仍保持質量合格的關鍵技術;所謂高純氣配管技術包括系統的正確設計、管件及附件的選擇、施工安裝和 試驗測試等內容。
常見氣體的種類電子行業中常見氣體的分類:普通氣體,也稱大宗氣體(Bulk gas ):氫氣(H2)、氮氣(N2)、氧氣(O2)、氬氣(A2)等特種氣體(Specialty gas )主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等特殊氣體的種類一般可分為腐蝕性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等,一般常用的半導體氣體分類如下:
(一)、腐蝕性 / 毒性:HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 …等
(二)、可燃性:H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…等
(三)、助燃性:O2、Cl2、N2O、NF3…等
(四)、惰性:N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等 半導體氣體很多是對人體有害。
特別是其中有些氣體如SiH4的自燃性,只要一泄漏就會與空氣中的氧氣起劇烈反應,開始燃燒;還有AsH3的劇毒性,任何些微的泄漏都可能造成人員生命的危害,也就是因為這些顯而易見的危險,所以對于系統設計安全性的要求就特別高。 醫療氣體管線供給系統是一個現代化醫院重要的且*的組成部分,它包括醫用氧氣系統、負壓吸引系統、壓縮空氣系統、笑氣(N2O)、氮氣系統及二氧化碳系統和中心工作站等。通過醫療氣體中心管道系統工程的合理設計,使醫院能以較低的投資獲得一個功效強大的供氣系統,確保醫院的醫療系統運行。
一、 醫用氣體的基本種類及用途
1.醫用氣體的基本種類為醫用氧氣、負壓吸引、壓縮空氣、氮氣、笑氣(N2O)及二氧化碳等氣體。
氧氣主要用于一般病人吸氧,危急病人吸氧及用于藥物的霧化等;
負壓吸引主要吸痰、膿及血液之用;
壓縮空氣用于口腔設備及作為動力(混合氣體用);
氮氣作為手術氣動工具的動力;
笑氣(N2O)用作為手術時的麻醉氣體。
二氧化碳氣用于腹腔充氣及試驗室培養細菌。
二、 醫用氣體管道系統及中心工作站(氣源)的設置
醫用氣體管道系統是指醫療用的氧氣,負壓吸引、壓縮空氣、笑氣、氮氣、二氧化碳等氣體的集中供給、排放和配管系統。
醫用氣體設置的區域為病房、手術室、監護病房(1CU)、搶救室、急診、觀察室、高壓氧倉、婦科人流室、口腔科等醫療場所。為保證醫療供氣系統穩定、連續地供氣,采用集中管理的中央配管系統設置中心工作站(包括供氧站、真空泵房、空壓機站等),通過管道連接醫院每個氣體終端。