高純氣體中央供氣系統安裝
高純氣體(High Purity Gases),通常指利用現代提純技術能達到的某個等級純度的氣體。對于不同類別的氣體,純度指標不同,例如對于氮,氫,氬,氦而言,通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體;而對于氧氣,純度為99.99%即可稱高純氧;對于碳氫化合物,純度為99.99%的即可認為是高純氣體。高純氣體應用領域極寬,在半導體工業,高純氮、氫、氬、氦可作為運載氣和保護氣;高純氣體可作為配制混合氣的底氣。
高純氣體中央供氣系統是專為高精度分析測試設備所用高純工作氣體的傳輸而設計,系統需要為分析設備提供壓力、流量穩定且經過長距離傳輸后純度不變的高純氣體以滿足各種高精度分析設備的使用要求。系統同時還應該滿足安全性的要求,并方便客戶的日常使用及管理
實驗室氣體管路工程主要材質為不銹鋼電解無縫鋼管,所有氣體管路的連接采用無縫焊接方式,管路 安裝在天花板下方,沿著墻壁來進行布局,便于檢查和維修,實驗室氣體管道工程采用集中供氣有以下優點:1.保持氣體純度:氣瓶均配有沖洗閥,以排除每次更換氣瓶時引入的雜質,確保了管路終端氣體的純度。
1. 由于存放的氣體由于有可燃性氣體和助燃氣體,按國家規定必須分庫存放。分別放 入不同的氣瓶間內。
2. 氣瓶間內設立一次調壓面板。
3. 壓力調節器入口前需加裝燒結金屬過濾器以防止顆粒等雜質污染系統。
4. 所有面板均配備吹掃閥,可實現對面板的清洗置換。
5. 壓力調節器及相關管件均需牢固的固定在壓力調節面板上,面板應設計的緊湊而合 理,以盡量減少系統中的死體積。
6. 壓力調節面板應采用全不銹鋼材料制成,并且牢固的固定在可靠的位置上,確保其 安全性。
7. 氣瓶間內存放的氣瓶采用帶防倒鏈的氣瓶支架固定,氣瓶支架堅固耐用、美觀大方。 氣瓶支架采用鋁合金制作而成。
8. 氣瓶間內的氣體鋼瓶與壓力調節器之間采用SS 316L高壓金屬軟管連接無滲透。 高壓軟管為柔性軟管,以保證連接的方便性。
9. 高壓軟管上的鋼瓶接頭必需與鋼瓶角閥的規格相匹配,以確保連接的可靠性。
10. 排空氣路應分類收集、固定牢固并排放至室外安全地點。
高純氣體中央供氣系統是專為高精度分析測試設備所用高純工作氣體的傳輸而設計,系統需要為分析設備提供壓力、流量穩定且經過長距離傳輸后純度不變的高純氣體以滿足各種高精度分析設備的使用要求。系統同時還應該滿足安全性的要求,并方便客戶的日常使用及管理。
高純氣配管技術是高純氣體供氣系統的重要組成部分,是能否將合符要求的高純氣體送至用氣點仍保持質量合格的關鍵技術;所謂高純氣配管技術包括系統的正確設計、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗測試等內容。近年來以大規模集成電路為代表的微電子產品生產對高純氣體的純度和雜質含量的日益嚴格的要求,使高純氣體的配管技術日益受到關注和重視。以下針對高純氣體輸送從選材到施工以及驗收、日常管理作個簡單的概述。
高純氣體中央供氣系統安裝